OECO電池是傾斜蒸發(fā)金屬接觸（Obliquely evaporated contact，OECO）硅太陽能電池的簡稱。

OECO太陽電池是德國ISFH研究所從九十年代就開始研制的一種新型單晶硅電池。與其他高效電池相比，具有結構設計新穎、制作簡單、電極原料無損耗、成本低廉和適合大批量生產等優(yōu)點。OECO電池結構基于金屬－絕緣體－半導體（MIS）接觸，利用表面溝槽形貌的遮掩在極薄的氧化隧道層上傾斜蒸鍍低成本的Al作為電極，無需光刻、電極燒穿、電極下重摻雜和高溫工藝即可形成高質量的接觸，并且一次性可蒸鍍大批量的電池電極。更為重要的是當這種電池制作面積從4 cm2擴大到100 cm2時，效率也只是從21.1％略微降到20％，仍然屬于高效范圍，所以這種結構的電池更適宜于工藝生產。

圖 ：德國 ISFH 的 OECO 電池 h＝21.1%

OECO結構示意圖如圖8所示，電池的表面由許多排列整齊的方形溝槽組成，淺發(fā)射極n+位于硅片的上表面，在其上有一極薄的氧化隧道層，Al電極傾斜蒸鍍于溝槽的側面，然后利用PECVD蒸鍍氮化硅作為鈍化層和減反射膜

OECO電池有以下特點：

（1）電極是蒸鍍在溝槽的側面，有利于提高短路電流；
（2）優(yōu)異的MIS結構設計，可以獲得很高的開路電壓和填充因子；
（3）高質量的蒸鍍電極接觸；
（4）不受接觸特性限制的可以被最優(yōu)化的淺發(fā)射極；
（5）高質量的低溫表面鈍化。

電池的制作具體過程為：

前表面機械開槽→化學腐蝕清洗→背面掩膜（擴散）→前表面化學制絨→使用液態(tài)源POCl3進行磷擴散制作n+發(fā)射極→打開背面接觸→真空蒸鍍Al作為背電極→前表面低溫熱氧化形成氧化隧道層→前表面無需掩膜直接傾斜蒸鍍Al作為面電極→使用導電膠將各個面電極連接起來→采用PECVD法在前表面蒸鍍氮化硅作為鈍化和減反射層。

文章來源：和海一樣的新能源 微博