半導(dǎo)體設(shè)備大廠應(yīng)材(APPLIED MATERIALS)2013年9月30日于第28界歐洲太陽光電會議展暨展覽會推出新一代離子植入系統(tǒng),借由內(nèi)建圖形化工藝的執(zhí)行,減少降低良率的步驟,并且將每小時處理外延片拉升至3000片,有效降低生產(chǎn)成本,并且將太陽能電池轉(zhuǎn)換效率提高至22%以上。
應(yīng)材利用離子植入系統(tǒng)過去應(yīng)用在半導(dǎo)體的經(jīng)驗,將其導(dǎo)入太陽能設(shè)備中,提高每小時外延片處理片數(shù)、降低生產(chǎn)成本,并且提升工藝良率,目前應(yīng)材在太陽能離子植入系統(tǒng)市場市占率約85%-90%,應(yīng)材也選在第28屆歐洲太陽能光電會議暨展覽會(28th European Solar Energy Conference and Exhibition)推出新一代離子植入系統(tǒng)Solion XP,搶攻太陽能廠商新技術(shù)開發(fā)商機(jī)。
應(yīng)材新一代離子植入系統(tǒng)Solion XP能執(zhí)行內(nèi)建的圖形化摻雜工藝,在生產(chǎn)過程中消除一些會降低良率的步驟,借此大量生產(chǎn)高校電池,并達(dá)到優(yōu)越的良率和降低成本的目標(biāo),Solion XP具備精密掃描架構(gòu)和可擴(kuò)展設(shè)計的支援功能,并且將每小時處理外延片數(shù)量由上一代的1100片的水準(zhǔn)拉升至3000片以上,有效將低生產(chǎn)成本。
應(yīng)材副總裁暨能源暨環(huán)保解決方案事業(yè)群太陽能產(chǎn)品總經(jīng)理Jim Mullin指出,Solion XP能在相同或是低于傳統(tǒng)電池和組件成本下,達(dá)到電池轉(zhuǎn)換效率超越22%的表現(xiàn),Solion XP除了可以提升生產(chǎn)效率以外,同時可以進(jìn)行二維精密圖案N型電池工藝。
應(yīng)材指出,電池工藝商目前正由P型太陽能電池轉(zhuǎn)為生產(chǎn)N型太陽能電池,因為N型太陽能電池可以大幅提升電池轉(zhuǎn)換效率、組件功能輸出與能源采集量,整體每瓦成本和產(chǎn)品差異化更具競爭力。而大量生產(chǎn)N型電池需要先進(jìn)技術(shù)能力,包括精密布圖和優(yōu)質(zhì)硼摻雜技術(shù),同時簡化制造步驟與生產(chǎn)程序,Solion XP所具備的內(nèi)建圖案化功能將可精密控制摻雜物接面深度、劑量與硼和磷的配量,促使高效率的載子活化作用,降低N型基板上先進(jìn)電池結(jié)構(gòu)的整體熱積存。
應(yīng)材全球產(chǎn)品經(jīng)理Wesley Skinner預(yù)期,2015年太陽能廠大舉擴(kuò)增資本支出的可能性較低,他透露,現(xiàn)階段太陽能業(yè)者多在增加研發(fā)(R&D)資出,決定未來技術(shù)走向,著重于技術(shù)而非產(chǎn)能的提升,對于應(yīng)材而言,新技術(shù)的發(fā)展也為應(yīng)材新一代Solion XP帶來機(jī)會,目前也與臺廠進(jìn)行接觸。